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        那就是对准。

        掩膜版与晶片之间空间位置,在多次光刻过程中,允许偏差在1微米以内,超高这个偏差,光刻机的镜头将无法完成对准校正。

        而1微米有多长?如果你有一把快刀,能把头发丝在直径上分成五十分,差不多就是五十分之一的样子。

        要检测这个长度很简单,涉及一个光线杠杆的原理,不过想要调整位置,那就难了,而补偿系统则是运用一系列算法、实验数据等,对平台一次位移不到位施加的反向作用力,并做到精准定位。

        毫无疑问,这是一项需要攻关的技术,而在王岸然计划中的双工台伺服补偿系统,难度是这个的百倍。

        还没学会走,王岸然自然不会指望能跑,所以这第一步至关重要。

        技术负责人左太行设计了一套拆除方案,核心就是请八级锉工,用手工锉刀将表面金属一层层的锉掉,然后打开内部结果。

        王岸然同意了这个方案。

        “王总,我真的安排秦师傅开始了啊!”

        王岸然摆摆手,说道:“放心,我肯定的再重复一次,锉坏了不用你赔。”

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